快速热处理:冷芯片的热材料

热过程对集成电路的制造至关重要。通过加热硅片芯片制造商可以驱动化学反应来改变晶体结构、扩散微量元素并生长坚硬的绝缘膜,从而使设备更快、更坚固、更可靠。

直到90年代末,这些工艺通常在一个称为熔炉的特殊烤箱中一次对许多晶圆进行。然而,晶体管已经缩小到了一个临界点,在使用熔炉不可避免地反复长时间暴露在高温下时,它们会崩溃。

应用优势辐照度计
应用优势辐照度计
解决方案是分别加热每个晶片。使用强大的卤素灯,整个过程可以在30秒内完成(因此称为快速热处理)。Applied的RTP技术很快被芯片制造业所采用,并使我们的客户在大幅降低功耗的同时达到处理器速度的新高度——在我们要求笔记本电脑和新型“个人数字助理”的电池寿命更长的时候,这一点至关重要

到2002年闪存这场革命正如火如荼地进行着,内存制造商正在努力提高生产能力,以满足爆炸式增长的需求。鉴于此,Applied一直在开发一种新的RTP机器,该机器将以(相对)微小的占地面积为内存制造商提供他们惯用的RTP性能,可以快速安装并开始生产芯片。

同年9月,“华帝”号发射升空。大多数芯片制造系统必然是巨大的。它们以几个独立的模块装运,并在现场组装。优势是不同的:小到可以装在一个板条箱里,安装起来也很快:一些客户把它拆开,只需一个多星期就可以完成工作。为了使安装更加容易,智能手机式扩展底座提前发货。客户将电源、水和气体连接到码头,这样当系统本身到达时,它就会立即就位。

应用华帝阿斯特拉酒店
应用华帝阿斯特拉酒店

有利位置很受欢迎。不到两年,它就成为每一家领先芯片制造商的首选RTP机。它至今仍保持着这一地位,500个系统之后。

这项技术也没有停滞不前。我们最新的华帝阿斯特拉酒店™ 该系统使用高功率激光在不到一毫秒的时间内将芯片顶部的几层原子加热到1000°C以上,加热速度达到惊人的每秒100万摄氏度。这项技术保护了精密的电路特性,使芯片制造商能够制造出几十纳米宽的晶体管和存储单元,并将十亿个晶体管压缩到微处理器中。

在您的收件箱中接收更新!

现在订阅

想参加讨论吗?

添加新注释:*

你也可以填写这个类型请直接与我们联系,我们会尽快回复您。